más Sputtering, mi tercera campana y cosas curiosas

Temas generales de física. Obtención de vacío, operación, medición, materiales y accesorios. Producción y medición de radiación y partículas
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Alfon
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más Sputtering, mi tercera campana y cosas curiosas

#1 Mensaje por Alfon »

Hola
Pues ya terminé otra campana a estilo "pofezional", y los resultados fueron muy buenos.
Con la rotatoria consigo vacios de 50 micras en menos de 1 minuto , y dejando 2 o 4 minutos consigo menos de 15 micras.
http://alfon.fansub.org/sputtering/sputtering.htm
Podeis ver las imágenes en el enlace.

Algo curioso de esta campana, es que las tapas las torneé con alumínio para refrigerar bien el target y el imán y así poder trabajar más tiempo, pero parece que a menos de 50 micras el sputtering no se concentra en el imán, y aparece por las paredes de aluminio.
A alguien le ha pasado lo mismo ?

Para solucionarlo sin hacerle una emvoltura de hierro, pues usé un imán para reforzar el pequeño imán del target, pero al ponerlo por encima no reforzaba muy bien y hacía nuves raras de ionización.
Luego se me ocurrió poner el imán debajo de la pieza a platear, y parece que solo funciona en un sentido, al ponerlo en sentido contrario pasa igual que no hace sputtering en el target.
Imagen

Y otro problemilla que tenía es que a menos de 25 micras aprox, no arranca , tengo que cerrar el grifo hasta que sube un poco la presión y entonces empieza el sputtering, luego bajo la intensidad para que el primer deposito de plata no quede oscuro, y cuando la presión es de unos 10 micras entonces le subo la intensidad.
Todo y haciendo eso la primera capa queda algo oscura, y hice un arrancador tipo bobina tesla, y ahora le aplico unos 5KV para arrancar, de esta forma puedo arrancar a menos de 25 micras y la plata queda muy "blanca" en las primeras capas.
A alguien le pasa lo mismo y ha tenido que usar el mismo método ? O el diseño de mi campana no fue la idonea por eso me pasa a mi ?

Bueno, solo comento mi caso, en principio la campana estará lista para platear las caras de un rubí para hacer un laser de rubí. Ya publicaré más sobre el laser.

Saludos

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Sergi
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#2 Mensaje por Sergi »

enhorabuena por un trabajo tan bueno Alfon.

Con un poco más de experiencia seras tu quien de consejos sobre sputtering.

Siento no poderte ayudar, pues no tengo experiencia en este campo, pero me da la sensación de que vas por buen camino y en poco tiempo dominaras todos sus secretos.

Solo un apunte. Para hacer sellos con pegamento usa Araldit alta temperatura. Mira este informe...

http://silvestre22.000webhost.info/Test ... epoxi.html

Y...no se si ya lo haces... pero si aceitas ligeramente las tóricas con aceite de rotativa aumentarás la hermeticidad de la unión. Claro que dirán que lo ideal seria usar grasa para alto vacío, pero a falta de pan...

un saludo
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Cecil Thousan

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Homer
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#3 Mensaje por Homer »

Hola Alfon,

A mi también me sale la primera capa oscura. Lo soluciono en dos pasos: espero que empiece a escupir limpio, abro y cambio el cristal.

Yo lo relacionaba con la temperatura del imán, pero la verdad es que no tengo ni idea de lo que puede ser. Solo sé que es muy mal conductor.

Buena idea lo del arrancador, lo probaré.

También le pongo un par de imanes de microondas, pero arriba, y efectivamente solo funciona en una posición.

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Alfon
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#4 Mensaje por Alfon »

Hola.
Gracias Sergi por los consejos, para poner el Anodo sin que toque al Catodo y que selle al vacio use el Araldit Alta temp, con un secado a 80 grados durante 24 horas, y para las toricas le pongo un poco de silicona transparente que no seca y según las pruebas que hice no hace mucho gaseado.
Y gracias Homer por tus comentarios, parece que coincidimos en lo mismo.

Ya plateé el Rubí y dos barritas de plástico fluorescente, espero poder excitar el fluorescente igual que el rubí y producir láser.

Imagen

Por cierto,, Alguien ha conseguido hacer sputtering de alumínio con la rotatoria sola ? sin necesidad de la bomba difusora ?, en las pruebas que hice el voltage de trabajo a el vacio más alto que pude me marcaba menos de 400 voltios, todo y lavando la camara dos veces con argón no conseguí sputtering, quizás se cuela algo de aire o es que necesito más vacio ?

Saludos

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Sergi
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#5 Mensaje por Sergi »

Hola a tod@s

Hola Homer... siempre trabajando en silencio.

...estuve pensando... podría ser que las primeras capas salgan oscuras porque son simplemente óxido de plata. ¿limpiáis o decapáis el target de plata antes de ponerlo en el imán?

Es posible que lijando ligeramente la superficie del pedazo de plata se evite el problema...

Ya me contareis.

ya tengo ganas de ver ese laser, Alfon


Tengo entendido que para aluminizar espejos se utiliza una técnica de evaporación en vacío de difusora 10E-4 o 10E-5 torr. Se colocan trocitos de aluminio sobre un filamento de tungsteno y se calienta el filamento. El aluminio se evapora y lo impregna todo.

Si se utiliza esta técnica para aluminizar, señal que el sputtering de aluminio es más que difícil.

más saludos
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PVD Sputtering de aluminio

#6 Mensaje por Luis A. de Prado »

Hola:
Los depósitos de aluminio pueden realizarse mediante las tres técnicas básicas de PVD. Si se emplea la técnica de sputtering, hay que evacuar todo el oxígeno de la cámara de trabajo, ya que el aluminio es altamente reactivo. Si no se quiere recurrir a una bomba secundaria, trabajando sólo con una rotatoria, hay que hacer varias purgas previas de la campana haciendo circular el argón que arrastrará el oxígeno al exterior; de este modo saldrá bien el depósito. Para hacerlo mediante PVD TE (Evaporación térmica) o EBE (Por haz de electrones) necesariamente hay que trabajar por debajo de 10^-4 mbar. con lo cual es necesaria la bomba secundaria.

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pfdc
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Notas sobre esputerig

#7 Mensaje por pfdc »

Hay que tener cuidado con los targets (catodos) y emplear metales con un grado de puereza aceptable. Si se emplea plata comercial lo mas normal es que tenga entre el 10 y el 25 % de cobre por eso en presencia de oxigeno puede resultar obsacura, por el oxido de cobre. Lo mismo ocuerre con el aluminio, que puede contener cobre y silicio incluso el oro que contiene cobre.

Si el vacio es bueno y la camara limpia no hay problema, pero si no se lava la camara con argon conviene emplear plata pura.
PFDC

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Homer
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#8 Mensaje por Homer »

Hola profesor, ¿es posible que sean nitritos, y que el aire lo suelte el imán al calentarse?

Saludos.

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Diego Gonzalez
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#9 Mensaje por Diego Gonzalez »

Hola chicos, perdon por la intromision, Cuando hablais de "lavar con argon" ¿¿que se trata de hacer vacio y rellenar completamente con argon, para volver a hacer vacio y rellenar, etc... para ir arrastrando los gases no deseados??

Es solo esa duda.

saludos!! :)

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Homer
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#10 Mensaje por Homer »

No hace falta rellenar completamente, vale más repetir con poca cantidad. Si tienes por ejemplo una micra de aire, rellenas con 100 micras de argón, vuelves a bajar a una micra... a la tercera tienes una parte por millón. Suena a anuncio de detergente: “-¿Vecina, con qué lavas? – ¿Yo? ¡con argón, y me queda todo mucho mejón

He probado a calentar previamente el imán con un soplete y nada, más de lo mismo. Rasqué la campana para recoger el residuo y la cantidad me parece desproporcionada para la ridiculez que se come del target. ¡Luego dicen que no se puede sacar nada del vacio! :D

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