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NotaPublicado: Sab Sep 25, 2010 6:31 pm 
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hola , necesito urgentemente que alguen me ayude con mi problema, estoy trabajando con un magnetron para hacer thin films, el problema es que desde hace como 3 semanas no puedo lograr el plasma.
no se que hacer :(


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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 7:37 pm 
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Hola queenofmyself

Sería interesante que describieras tu dispositivo, colgaras fotografías y demás... tipo de sensores de vacío, tensiones e intensidades de trabajo...

Como entenderás es imposible aportar nada con solo la información que se puede sacar de tu mensaje.

Saludos

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"La manzana no nos echó del paraiso, sólo nos dejó ciegos para verlo"
Cecil Thousan


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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 8:40 pm 
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hola gracias por tomarte el tiempo con mi duda, ahora no tengo a mano las fotografias del magnetron , el lunes que voy al laboratorio tomare fotos y las subire.
Por ahora te puedo maso menos explicar como funciona el magnetron, posee una campana que es donde se realiza el vacio dentro de esta campana hay un sistema de capacitores.Cada capacitor posee un diametro de 10 cm , en el catodo se coloca el blanco y el anodo se coloca substrato.
se lleva la campana a vacio ( una vez que se a colocado el substrato y el blanco) ha presiones de 3.6x10-6 mtorr, una vez que se llega a ese vacio o un poco mas bajo se le inyecta argon al sistema y voltaje para que se forme un campo magnetico y el argon se ionize y asi se forme el plasma.

el problema es que desde hace 3 semanas no podemos formar plasma, tratamos de llegar a un vacio aun mas bajo, porque pensabamos que podia ser contaminacion, por lo que lo llevamos a 5.6x10-7 mtorr, y aun asi no se formo el plasma.
en el link que te adjunto hay un esqueman de las partes del magentron con el te pues guiar un poco mejor.
http://www.study-on-line.co.uk/whoami/t ... img3_2.gif

gracias por su tiempo


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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 8:46 pm 
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queenofmyself escribió:
en el link que te adjunto hay un esqueman de las partes del magentron

Pues mas que magnetron parecería un generador de Radio frecuencia convencional lo que se aprecia en el esquema,que ademas no menciona magnetron alguno.


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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 8:52 pm 
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el magnetron trabaja con rf , el link lo que muestra es como se forma el plasma dentro de la campana


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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 8:56 pm 
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Ciudad: Buenos Aires
Ya has verificado la presencia de la RF en cantidad y lugar sea quien sea la produce?...no sea que se pincho el generador.


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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 8:59 pm 
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Se le llama magnetrón por tener un concentrador magnético del plasma (creo)

queenofmyself...

¿Estáis seguros que funciona el generador de RF? ¿o si las conexiones de la RF a la cámara están bien?. Sea cual sea el gas residual, la RF debería generar plasma en un margen bastante amplio de vacío.

Tal vez se comunicó interiormente la entada de los electrodos de RF con una capa metálica por culpa del esputering.

Asegurate que los aislamientos eléctricos están en buen estado. (una capa fina de metal depositado, en aislamientos cerámicos o plásticos, se limpia con facilidad con salfuman)

Si puedes poner fotografías tal vez veamos más detalles....


Saludos

PD. nos cruzamos los mensajes :mrgreen:

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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 9:14 pm 
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hola lanicolates, gracias por tu aporte
el punto es que no se como puedo darme cuenta si la RF esta funcionando o no , pero ya tengo por donde empezar :wink: , voy a tratar de encontrar la forma de saber si el rf funciona.

gracias


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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 9:17 pm 
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Registrado: Sab Sep 25, 2010 6:23 pm
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Ciudad: sanjose
Sergi gracias por tu tiempo, y por ser tan amable!.
el lunes voy al laboratorio y tomo las fotografias,por la noche las postulo, de paso tratare de averiguar si la rf esta funcionado :cry:

gracias! :D


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NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 9:47 pm 
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Mensajes: 3154
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País: Madrid
Ciudad: Alcobendas
Creia el sputtering se hace por descargas electrostaticas y no magneticas. En cualquier caso debieras de tener en el eparato alguna forma de medir la potencia de salida a ver si hay corto como dijo Sergi o la etapa de potencia se ha fastidiado. ¿A que frecuencia va la etapa de RF?

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Los ensayos empiezan a ser interesantes a partir del millón de amperios
https://pulsotron.com/progress


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