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NotaPublicado: Dom Jun 16, 2019 6:07 pm 
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A ver si he hecho bien los cálculos. Tengo una cámara intermedia de 75cc y le he puesto un sensor de presión. Abro EV1 para vaciarla hasta que el sensor marca 19500pascales, y a continuación voy dándole pulsos a EV2 hasta que marca 20500pascales. En total 36 pulsos.
75cc * 19500p / 101325p = 14,43cc a 1 atm. (101325p)
75cc * 20500p / 101325p = 15,17cc a 1 atm.
(15,17 – 14,43) / 36 = 0,0206cc/pulso

A continuación abro una válvula que comunica la cámara intermedia con la campana de vacío a través de un filtro de cerámica. Para mantener la presión a 200000pascales son necesarios 1,8pulsos/minuto en EV2. Así que entran 1,8pulsos/minuto * 0,0206cc/pulso = 0,0371cc/minuto = 1sccm al 3,7%. El más bajo que he visto es de 3sccm ¡por 2.800€! Estoy jodido.

Pero si hubiera mercado podríamos montar un buen negocio :lol:


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NotaPublicado: Dom Jun 16, 2019 8:13 pm 
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Registrado: Mié Feb 25, 2004 9:30 am
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Aquí tienes uno de 50 sccm que en el limite inferior será 1 sccm por 28 $ mas portes. https://www.ebay.com/itm/Tylan-PC-5901UV-MFC-Mass-Flow-Controller-HE-50-SCCM/273781130489?epid=23005588570&hash=item3fbea084f9:g:jpkAAOSwgQRZbN2E y otro tambien de 50 sccm por 31 https://www.ebay.com/itm/Unit-UFC-1000-MFC-Mass-Flow-Controller-PH3-N2-50-SCCM-Used/392288637498?hash=item5b5639923a:g:ZVMAAOSw3SpcygKT y otro de 20 sccm por 51 $. Tambien hay otro de 10 sccm por 60$ https://www.ebay.com/itm/Sierra-Instruments-Sidetrak-Mass-Flow-Controller-BCL3-1-10-sccm-Used/372579754727?hash=item56bf7be2e7:g:g44AAOSw6KxcTD20 así que no seas agorero y busca mejor.

Como he dicho yo he comprado algunos por tan solo 20 $ mas portes. Pero has que esperar a las oportunidades.

Ademas se pueden trucar. Los MFC llevas un shunt para gases de manera que solo un poco del flujo pasa por el sensor. Si modificas el sun bajas el rango de actuacion.

salud!!


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NotaPublicado: Dom Jun 16, 2019 11:15 pm 
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Registrado: Dom Abr 30, 2006 2:07 pm
Mensajes: 2044
País: España
Ciudad: Sabadell
No soy agorero, es que estoy enfermito :( :lol:

Eso del shunt me ha gustado, además también puedo añadir a la salida un divisor de flujo con un par de filtros. Estaré al acecho.


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NotaPublicado: Mar Jul 09, 2019 3:45 pm 
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Registrado: Lun Dic 17, 2007 10:59 pm
Mensajes: 1835
Ubicación: Oviedo Asturias
Profesor, Hola!!

Supongo que has visto las novedades de este inventor aficionado (que lo conoces)

http://sam.zeloof.xyz/

Lo del reflector y bombilla de cuarzo y todo eso

_________________
Mi humilde rincon web

http://sites.google.com/site/skygaps/


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NotaPublicado: Mié Jul 10, 2019 9:28 am 
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Registrado: Mié Feb 25, 2004 9:30 am
Mensajes: 3345
Ubicación: Madrid / España
Gracias Diego.
Si conocía esta pagina, creo que la vi hace un par de años. Entonces no tenia el microscopio electrónico. Creo que tenemos muchas similitudes aunque no sigamos exactamente los mismos caminos.
La microlitografia con el microscopio electrónico es algo que me ha rondado la cabeza desde el primer día que lo tuve y no lo hice precisamente por el problema con que el mismo se ha encontrado: cortar el haz de electrones (Blanker). Salvo error, no creo que conozca a Sam Zeloof aunque no me importaría.

Salud!!


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NotaPublicado: Vie Ago 02, 2019 1:05 pm 
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Registrado: Jue Dic 03, 2009 3:46 pm
Mensajes: 225
País: España
Ciudad: Sevilla
Interesante trabajo profesor, sí señor.
Saludos.


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