jugando con plasma

[sawtech]

Es solo un video que comparto de imagenes de deposiciones por plasma.

https://youtu.be/TVJoordZO6s

Espero les guste, algunas son impresionantes

SAWTECH

[pfdc]

la deposición de CSi por plasma me parece muy interesante. Podrías explicar el proceso? Gracias.
Salud!!

[sawtech]

En cual de los casos? Tenemos el reactor horizontal con las líneas de plasma.... el reactor hotizontal con el anillo el reactor vertical con descargas espureas y el mismo reactor con descarga controlada.

El proceso de deposición de SiC se realiza con hexametildisoloxano y argon o hidrogeno en un rango de vacío de 10-1mbar aprox. es recomendable antes limpiar con plasma de argon en alto vacío 10-5mbar mínimo.

La descarga se lleva adelante desde los 900v..... aprox. puede ser contínua o alterna.

sawtech

[sawtech]

Me olvide, temperatura del substrato > 550 grados aprox.

[sawtech]

nunca me respondio profe le sirvio la data?

Sawtech

[pfdc]

Perdon!!.
Si me sirvió, y me interesa da deposicion de CSi. Voy a ver si encuentro el hexametildisoloxano y pruebo a hacerlo.
Gracias!!

[sawtech]

Es mas seguro que los otros precursores, si necesitas ayuda a tu disposición.

sawtech

[sawtech]

Mis primeros experimentos con plasma


Subido en

https://youtu.be/BJrmkF9pRNc

[sawtech]

metalizando en alto vacío

Esta maquina era originalmente una equipo de metalización que se fue adaptando, hasta poder realizar experiencias en PACVD (plasma asisted chemical vapour depositión).
Posee una fuente de 300 A 12 V, llega a 10-6 mBar con la bomba difusora y se deposito titanio sin problema (se uso solo 200A).

Subido en

https://youtu.be/wrSoDT2NAD8