Sputtering velocidad de deposicion

Temas generales de física. Obtención de vacío, operación, medición, materiales y accesorios. Producción y medición de radiación y partículas
Responder
Mensaje
Autor
Avatar de Usuario
PULSOR
Mensajes: 126
Registrado: Vie Sep 20, 2013 9:47 am
País: España
Ciudad: Madrid

Sputtering velocidad de deposicion

#1 Mensaje por PULSOR »

Tengo una pequeña duda del sputtering que me ha quedado de un hilo abierto anteriormente.
¿La velocidad de deposicion de las capas de que factores depende exactamente?
He estado mirando las distintas patentes en google del proceso pero ninguna habla de la relacion de la velocidad de deposicion con la corriente empleada ni el tiempo.

Que los atomos se depositen en capas a 20 o a 200 nanometros por segundo, imagino que depende de esos factores anteriormente citados
¿No hay ninguna formula para calcular la tasa de deposicion?
Vivimos en una sociedad profundamente dependiente de la ciencia y la tecnología y en la que nadie sabe nada de estos temas. Ello constituye una fórmula segura para el desastre.

Avatar de Usuario
Alfon
Mensajes: 1432
Registrado: Dom Mar 04, 2007 10:44 pm
País: España
Ciudad: Figueres
Ubicación: Gerona/España
Contactar:

Re: Sputtering velocidad de deposicion

#2 Mensaje por Alfon »

Depende de estos factores:
- Distancia del target a la pieza.
- Vacío (o paso libre de átomos hasta la pieza)
- Intensidad en el magnetrón
- Elemento a pulverizar.

No se si me dejo alguno más, pero estos son los principales,,, es posible que el gas residual también afecte a la velocidad.

Saludos
El saber no ocupa lugar, pero sí tiempo ^_^
-- Personal --> www.bitacoradealfon.es <--
-- Comercial --> www.altortech.es <--

Avatar de Usuario
PULSOR
Mensajes: 126
Registrado: Vie Sep 20, 2013 9:47 am
País: España
Ciudad: Madrid

Re: Sputtering velocidad de deposicion

#3 Mensaje por PULSOR »

Alfon escribió:Depende de estos factores:
- Distancia del target a la pieza.
- Vacío (o paso libre de átomos hasta la pieza)
- Intensidad en el magnetrón
- Elemento a pulverizar.

No se si me dejo alguno más, pero estos son los principales,,, es posible que el gas residual también afecte a la velocidad.

Saludos
Imagino que a mas densidad de potencia por area mayor velocidad de deposicion, aunque habra un limite teorico de deposicion por tiempo, imagino que ese limite sera en el cual no se pueda superar una cantidad determinada como pueden ser micras por segundo ya que los atomos no se depositarian, no habria tiempo para que se enfriasen lo suficiente para que lleguen los siguientes y se acoplen.
Por eso preguntaba si existia formula que indique una limitacion

Saludos
Vivimos en una sociedad profundamente dependiente de la ciencia y la tecnología y en la que nadie sabe nada de estos temas. Ello constituye una fórmula segura para el desastre.

FIJCHO
Mensajes: 76
Registrado: Lun Nov 18, 2013 2:16 am
País: ARGENTINA
Ciudad: OLIVOS

Re: Sputtering velocidad de deposicion

#4 Mensaje por FIJCHO »

Hola Alfon

Te olvidas del gas con el cual realizar el sputtering.
Se suele usar argón por su masa e inercia química.
Saludos

Avatar de Usuario
pfdc
Site Admin
Mensajes: 4451
Registrado: Mié Feb 25, 2004 9:30 am
País: España
Ciudad: Alcobendas
Ubicación: Madrid / España
Contactar:

Re: Sputtering velocidad de deposicion

#5 Mensaje por pfdc »

No existe una formula practica que te permita calcular la velocidad de deposición hay que hacerlo experimentalmente. Se monta el aparato se hacen deposiciones y se anotan las condiciones. Después se mide el espesor y en función de el se varían los parámetros.

Para medir el espesos o la velocidad de deposición hay aparatos adecuados, basados en la variación de frecuencia de un cristal de cuarzo. INFICON es una de las marcas mas usadas.

Una limitación importante es el calentamiento del cátodo, ya que un calentamiento excesivo puede fundirlo. Un calentamiento excesivo también puede destruir el objeto a metalizar.
El sputering también puede ser reactivo, por ejemplo yo deposito oxido de circonio partiendo de circonio y empleando una mezcla de 10 % de oxigeno y un 90% de argón.

Como ejemplo aproximado, la velocidad de deposición del la plata es 1000 veces mas rápida que la del wolframio para las mismas condiciones.

Salud

Responder

¿Quién está conectado?

Usuarios navegando por este Foro: No hay usuarios registrados visitando el Foro y 1 invitado