He estado callado con este tema mucho tiempo porque he tenido problemas y hasta que no he vislumbrado la solución de los mismos he decidido que mejor no decir nada que decir tonterías.
Después de realizar todo el proceso, como es lógico, me puse a medir el condensador y....... decepción, no medía capacidad y sin embargo me daba prácticamente cortocircuito.
Mi primera impresión fue echarle la culpa al polv, a pesar de que estaba haciendo las cosas con bastante cuidado pensaba que una partícula de polvo podía provocar que en los bordes se provocase un cortocircuito. Otra posibilidad es que el propio polvo al tener menos rigidez dieléctrica que el oxido de hafnio fuese el causante del cortocircuito.
Mientras le daba vueltas al tema observé horrorizado como se alteraba la superficie de los depósitos. Al día siguiente los condensadores tenían este aspecto.
El desprendimiento de los depósitos era algo mucho mas catastrófico que el corto en las placas del condensador. Mi primera impresión fue que esa falta de adherencia se podía deber a falta de limpieza, pero después de varios intentos extremando la preparación de los sustratos los depósitos seguían desprendiéndose después de un tiempo.
El la red encontré que los metales se adhieren muy mal al zafiro. Entre las soluciones propuestas la mas accesible era dar una primera capa por sputering, de cromo. No tenia cátodo de cromo y me tuve que demorar unos días para conseguirlo.
Ahora que con el cromo se han resuelto los problemas de adherencia hay que seguir con el resto.
Para reducir las posibilidades de un cortocircuito deposite una capa mucho mas gruesa de lo planificado. Un sputering de tres horas depositó 1500 nm de óxido de hafnio. Con esta capa no había cortocircuito, pero el condensador tenia una corriente de fugas extremadamente alta presentando una resistencia equivalente a 150 ohmios. De estos resultados deduje que no se producía conducción por efecto del polvo sino porque el hafnio no estaba totalmente oxidado a pesar de que parecía totalmente transparente.
Continuara...