Medidor PT100

[Alberto]

Buenas ya se que ya hay una mejor opción con la sonda china, pero tengo ya construido el de la PT100 y solo me falta calibrarlo y además ahora ya manejo un poco de conexiones de vacío. Quizás me embarque también en la de la sonda china, pero más adelante.

Lo primero que haré será alojarla en una conexión QF16 que tornearé en aluminio.

Leyendo el artículo del profe veo que una desventaja es la temperatura ambiente y viviendo en Sevilla la diferencia entre los valores de la misma puede ser muy alta. Por ello tengo en mente sustituir la resistencia de 100 ohm por 2 pt100 en paralelo acopladas a la conexión QF16 como sugiere el profe. Con una microgota de pasta térmica por la parte de atrás de la pt100.

¿Sería esto suficiente para darle una precisión razonable? Me refiero entiendo que la ventaja de la sonda china es que no necesita calibración pero que la PT100 es igualmente válida ¿Cierto?

El objetivo es por ahora para el sputtering. El medidor de cátodo frio del profe es para vacíos altos y ya he visto que aunque el sputtering va de las 5 a las 100 micras, quiero tener algo de precisión en el rango de 1 a 50 micras y creo que ahí los que me compré digitales no van muy finos.

Gracias

Saludos

[pfdc]

Si me mandas un medidor de vacío chino te lo compruebo y te lo calibro.
Salud!!

[Alberto]

Si me mandas un medidor de vacío chino te lo compruebo y te lo calibro.
Salud!!

Buenas Profe, muchas gracias por tu ofrecimiento. Es que ahí está la idea, como tenemos previsto volver a vernos para encapsular la turbomolecular (¿Viste el email que te mandé con el "proyecto"?) pues la cosa es tener un medidor bien hecho con conexiones QF para calibrarlo allí contigo. El de la PT100 lo tengo, pero la sonda que monté para la PT100 era una porquería y le había puesto un polímetro digital. Lo voy a cambiar por uno de aguja y le pondré una sonda con conexión QF 16, así cuando vaya puedo calibrarla correctamente.

Si te parece bien la idea claro. El chino me echa para atrás porque si la única pega es la calibración, el de la PT100 ya lo tengo y si la precisión es la misma o parecida pues no es plan. Ahora bien, si tu me dices que el chino es mucho mejor que el de la PT100, mañana mismo compro los componentes, y ya vemos si te lo mando, o me tienes por allí de visita si un día te viene bien.

Por tanto, si seguimos adelante con la PT100 ¿Cambiar la de 100ohm por 2 PT100 en paralelo para compensar la temperatura será suficiente con los cambios de Sevilla?? (hasta 35 grados según la estación).

Ahora si me dices que chino, pues chino.

Saludos

[pfdc]

Para hacer una mejor compensación de la temperatura esas dos Pt100 deberían estar conectadas térmicamente al encapsulado del sensor. Así se compensaría tanto por la temperatura exterior como por el propio calentamiento de la Pt100 de medida. Pero yo no perdería mucho el tiempo con el circuito de la PT100. El sensor chino es barato y facil de emplear.
Salud!!

[Alberto]

Pues vamos con el chino, ya está pillada la sonda.

Por cierto, para sputtering maximo hacen falta 5 micras en ppio, pero vi que tenías la cámara conectada a una turbo ¿Por algo en especial?

[Alberto]

Y otra duda relacionada con el sputering.

Mi idea es plantea la cámara así



C va a la bomba de vacío, en A el medidor de vacío y en C la válvula de aguja para meter gases. Si la cámara está previamente llena de aire y quiero usar argón, primero hago vacío a tope y le meto argón hasta las 200 micras. vuelvo a hacer vacío y vuelvo a meter argón. Así "limpio" la cámara. Hasta ahí perfecto. Mi pregunta es ¿Hay algún problema en meter el argón por la entrada C, es decir por "abajo"? ¿O es necesario meterlo por ejemplo por arriba, por donde he marcado una X para que empuje el aire residual?

[pfdc]

Respecto al sputering:
Para hacer sputering de metales nobles, oro, plata, platino, paladio... no hace falta meter argón porque los gases residuales no reaccionan con el metal y si tu bomba mecánica consigue mantener en la cámara una presión de 20-30 micras tampoco seria necesario emplear una bomba turbo o difusora.
Si quieres hacer sputering de otros metales, cobre, aluminio etc. hay que trabajar en atmosfera libre de oxigeno o nitrógeno que puedan combinarse con los metales para ello hay que meter argón y que la presión residual del nitrógeno y oxigeno que quedan en el interior de la cámara sea muy baja. En cualquier cámara de vacío ya sea por pequeñísimas fugas a través de las juntas de goma, por flujo inverso desde la bomba mecánica o por desprendimiento de los gases adheridos a las paredes de la cámara aparecen restos de estos gases y es necesario meter continuamente argon para arrastrar estos gases. Pero si metemos argón la bomba mecánica ya no consigue mantener una presión de 10-30 microbares y tenemos que conectar una turbo o difusora.

Cuando se quiere hacer sputering reactivo, por ejemplo de oxido de hafnio, en la cámara se inyecta una mezcla de oxigeno y argón en la proporción adecuada.

Por donde hay que inyectar los gases: si el vacío es bueno ( 10-20 microbares) cualquier molécula que se introduzca se difunde libremente en todas direcciones casi inmediatamente, por tanto se puede meter por cualquier parte aunque yo lo metería en la cámara por el soporte inferior.
Salud!!

[Alberto]

Gracias!