Sputering RF y plasma etching.

Temas generales de física. Obtención de vacío, operación, medición, materiales y accesorios. Producción y medición de radiación y partículas
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pfdc
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Sputering RF y plasma etching.

#1 Mensaje por pfdc »

Casi a diario empleo el sputering de diversos metales. El oro y la aleacion de oro paladio la empleo para el microscopio electrónico. Últimamente estoy empleando platino para contactos eléctricos de alta temperatura, pero nunca había intentado sputering de óxidos aislantes pala lo cual debe de emplearse radiofrecuencia y esto es lo que voy a intentar, y por si es de interés reflejare aquí mis experiencias con vacío y RF.

Tengo una fuente de RF, de 1KW muy adecuada para eso, pero emplea trifásica y refrigeración por agua, y me ha parecido bastante lioso montar ese circo. Ademas quiero que mi experiencia sea accesible para otros aficionados así que voy a emplear materiales lo mas baratos posibles.

Primero ha sido conseguir un fuente de RF y he optado por comprar a través de mil anuncios por 60 € un amplificador de RF, en concreto un Zetagi BV131. Este amplificador da hasta 200 W, que creo que serán mas que suficientes, es de la banda de 27 Mhz, donde existen frecuencias reservadas para uso industrial. He optado por ese equipo porque es de válvulas y las válvulas resisten mucho mejor las des-adaptaciones de impedancia sin destruirse que los transistores.

Después de esto mi primer paso es conseguir un oscilador de 27 MHz y un par de vatios para excitar el amplificador. este si sera a transistores , y con un cristal de la frecuencia adecuada.

Después de esto deberé construir un acoplador de impedancias para excitar el sputering.


Continuara.....

Salud!!

(Las frecuencias rerervadas para uso industrial y cientifico son :
13553 kHz a 13567 kHz (frecuencia central 13560 kHz)
26,957 MHz a 27,283 MHz (frecuencia central 27,120 MHz).

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OPTON
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#2 Mensaje por OPTON »

hi i probado el SB- radio del coche 6 vatios rango de potencia de salida y una de 100 vatios quema plasma puro experimento

alberttoy
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#3 Mensaje por alberttoy »

Esto promete.
Estaré atento.

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pfdc
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#4 Mensaje por pfdc »

Parece que nadie me pasa un esquema de un oscilador, así que lo tendré que diseñar.

Mi duda es si debería controlar la potencia en amplitud, o en ciclo de trabajo. supongo que esto ultimo, para garantizar la maxima ionizacion del gas. Otra cosa que me estoy planteando es hacer un purificador de argón.

La cosa es que cuando hago esputerin de metales reactivos como aluminio, titanio, circonio... se forma un poco de oxido debido a los restos de oxigeno del argón. Claro esta que empleo argón comercial. Para eliminar estos restos de oxigeno pretendo hacer pasar el argón por esponja de titanio calentada a 800 ºC.
Salud!!

Vicente
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#5 Mensaje por Vicente »

Hola,

De tu escrito inicial, no había entendido que estuvieses buscando el esquema de un oscilador.
En mi época de cacharreador electrónico hice varios emisores y receptores de RF a partir de kits (saleskit, etc). Supongo que siguen existiendo aquellas marcas u otras similares.

Acabo de encontrar uno muy sencillito (y muy barato) con pinta de no ser ni muy estable ni muy bueno, pero es posible que te pueda valer. También tiene que haberlos mejores, con cristal:

https://www.todoelectronica.com/es/osci ... -3354.html

Un saludo
Sapere aude

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Alfon
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#6 Mensaje por Alfon »

pfdc escribió:Parece que nadie me pasa un esquema de un oscilador, así que lo tendré que diseñar.

Mi duda es si debería controlar la potencia en amplitud, o en ciclo de trabajo. supongo que esto ultimo, para garantizar la maxima ionizacion del gas. Otra cosa que me estoy planteando es hacer un purificador de argón.

La cosa es que cuando hago esputerin de metales reactivos como aluminio, titanio, circonio... se forma un poco de oxido debido a los restos de oxigeno del argón. Claro esta que empleo argón comercial. Para eliminar estos restos de oxigeno pretendo hacer pasar el argón por esponja de titanio calentada a 800 ºC.
Salud!!
Hola Profe y gente.
Tampoco sabía que andaras buscando, yo últimamente trasteo mucho con generadores RF a 100MHz con cristal de cuarzo y luego etapas de potencia, para los láser de CO2 de RF.
Pero no se si te puede servir, ya que a 100MHz no es una banda para usos industriales, solo que los láser lo confinan todo en su cuerpo de aluminio y de ahí no sale nada. Si para tu caso lo utilizas al aire, pues mejor una banda 27MHz.

Para 27MHz, yo utilizaría lo típico emisora CB y luego amplificador.
También dispongo de algunos circuitos autoresonantes sencillos (pocos componentes) con válvulas triodo, y de alta potencia, lo que no son tan estables que trabajar con un cristal de cuarzo. Si necesitas, me haces un privado.

Yo a parte, también ando mirando equivalentes con transistores, son más caros que montarlo así con un triodo ruso, pero trabajas a baja tensión <50V ,,, este vendedor tiene muchos módulos de 1kW a transistor para la banda de FM 88-108MHz, 2m, 6m, etc... por si os interesa http://www.ebay.es/sch/fmworldcorp/m.ht ... 7675.l2562

Saludos
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Rovellat
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#7 Mensaje por Rovellat »

Pues tampoco me pareció una solicitud de circuito.

También creo que la CB es una buena fuente de generadores y sobre todo de lineales a buen precio; antes de la telefonía movil los había a patadas; ahora ya no se.

Una muy facil solución es un generador a cuarzo, que viene el oscilador y el cuarzo encapsulado todo junto, son relativamente baratos, funcionan a 3,3V, y dan salida cuadrada, :( .

Y aquí hay varios circuitos, con identificación de origen, desde la baja frecuencia hasta los 100MHz; eso si, los que usan puertas dan salida cuadrada, :( .

http://www.changpuak.ch/electronics/Oscillators.php
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heli
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#8 Mensaje por heli »

Yo tengo algunas emisoras de CB operativas, pero solo salen en 4W (AM o FM).
También tengo una estupenda President Lincoln que sale con 10W en AM/FM y CW y 21 en SSB que te puedo prestar porque sé que la cuidarás bien.
Esta abierta de canales o sea que tienes banda contínua de 26Mhz a 30Mhz.

Para generar frecuencias lo mejor es el DDS AD9850 que llega hasta 40Mhz, en ebay hay muchos montados:
http://www.ebay.es/itm/AD9850-DDS-signa ... 1659316076
http://www.ebay.com/itm/AD9850-40Mhz-DD ... 1814337255
Hay radioaficionados que han añadido algo de amplificación a la salida: http://www.vk5tm.com/homebrew/dds/dds.php
pero no llega a tus necesidades, mejor encadenar un previo.
¡No es imposible, lo que pasa es que no sabes como hacerlo!
Aka: no es difícil si sabes como.
http://heli.xbot.es

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pfdc
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#9 Mensaje por pfdc »

Gracias a todos.
Yo también tengo algunas emisoras que podría haber empleado pero mi objetivo era un oscilador simple para poder modular en ancho de pulso.
ya lo tengo medio hecho, un par de transistores, un cuarzo y media docena de componentes sin contar el modulador.
Lo pondré aquí en cuanto este terminado.
salud!!

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Amalitus I
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Re: Sputering RF y plasma etching.

#10 Mensaje por Amalitus I »

Buenas,
Aunque lo tengo parado por diversos motivos, voy a seguir esto de cerca pues mi experiencia fue desastrosa y tenía unas perdidas terribles.
Espero que te salga todo bien profe, que te copio como las balas :D

Saludos!!
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