Distribucion de los electrodos

[Eduardo]

Estimado Profesor Frank de Copenhague

En su documento sobre la construccion de un sistema sputering,usted escribe:

En una cámara que se ha hecho el vacío y se hace pasar una corriente eléctrica entre dos electrodos.

Código: Seleccionar todo

busque en el documento algun dibujo sobre la distribucion de los electrodos y dibuje algo de acuerdo a lo escrito por usted,


El sistema de vacio,podria ser solo mecanico o hay que agregarle una bomba de difucion?
El sistema que entrega gas,para formar el plasma deberia contar con un regulador de caudal?
La distancia entre anodo y catodo tendria que ser regulable?

Un saludo.
Eduardo

[baldo]

aparte de la pagina del profe, mira en este foro mi experiencia reciente, tengo un link que te aclara el asunto.

veras que una rotatoria parece pasarse de vacio,

si inyectas gas pues claro que hay que regular caudal, el profe propone inyectores de coche, para plata y oro no necesitas gases raros.

yo la distancia la puedo regular, sistema modular.

el dibu esta bien pero podria estar mejor, falta el iman.

[Eduardo]

Estimado baldo.

En su foto no se describen donde estan los electrodos,el iman y el material a recubrir.


En el siguiente dibujo trate de aclarar este punto


el dibujo animado simula el proceso


los iones de argon(en amarillo),se generaron en el espacio estre el anodo y el catodo,lugo pegan contra el catodo y liberan material del mismo(puntos negros),estos atomos del catodo reciben energia de los iones y se dirigen al substrato,perdiendo la energia cinetica y depositandose en el mismo.
Continuare con la tecnica sputtering en los dias siguientes,un saludo
Eduardo

[PapaJohn]

Me creerás que pregunte al menos 3 veces exactamente lo mismo sin poder hacerme entender...
excelente dibujo, lo que no me queda claro es porque al iman del centro del magnetrón le cambian la polaridad... y al parecer esta cambiada la polaridad

Alguien que pudiese rectificar

[baldo]

efectivamente no dejamos muy claro la colocacion de los electrodos, el material, y el objeto, en mi caso me contentaba con metalizar el cristal.

de quien es la animacion,? si me acuerdo la pegoteo en mi web la proxima.

¿por que el iman alternado?, no es que el iman atraiga lo e- o iones, pero todos sabemos que los tuerze, si es tan grande los baila como sacacorchos, y ocurre un curioso efecto que solo descubri hace poco, por asuntos de gradiente tienden a converger en los polos, este efecto se ve en una foto del profe, una con bote de conservas e iman, tambien usado en las opticas magneticas de microscopios electronicos.

da igual la polaridad del iman, me refiero a que se puede invertir.

lo que no da igual es la polaridad electrica del asunto, mira mi link que anda porai. dependiendo de la polaridad de electrodos el plasma se concentra o bien en el polo magnetico o bien el la frontera de los polos, esto me recordo a las auroras boreales, siempre me pregunte sobre el voltage de los planetas, segun esto nosotros estamos a - con respecto al sol,
estoy tentado de profundizar por ahi, no se que pensara el profe.

[PapaJohn]

se agradece la aclaracion
no encuentro la hora que lleguen mis bombas de ebay... las remate el 3 de sept y aun no tengo noticias

Sobre la polaridad de los imanes, todos sabemos que el campo magnético no es capaz de impartirle momentum a una carga, solamente doblarlo, lo que no entendia era el porque era esa distribución, pero dibujando las lineas de fuerzas del campo queda super claro que esa distribución amplifica el campo del imán central... cuando tenga fotos van a ser los primeros en enterarse

[Eduardo]

Estimado Grupo.

Una carga electrica,en este caso un electron con una cierta velocidad v sufre la accion de una fuerza Fm debido al campo magnetico CH,reperesentado por el vector B ,la fuerza Fm es perpendicular al plano formado por v y B,imaginemos que exista tambien un campo electrico que crea una fuerza Fe,pero esta fuerza tiene el mismo sentido que el campo electrico.



De acuerdo al siguiente dibujo el electron entra en la zona del campo magnetico CH marcada con x rojas,que significa que el campo magnetico CH esta dirigido hacia la hoja,es decir entra perpendicular a la hoja,al estar en la zona del CH sufre la accion de una fuerza que hara que la trayectoria sea curva



en el siguiente dibujo se ve el proceso real,el electron avanza girando y movido hacia la derecha por el campo electrico y obligado a girar por el campo magnetico,porque esto es util en el proceso de sputtering?,si no estuviera el CH el mismo avanza derecho hacia la derecha por lo que la probabilidad de que choque con atomos de argon es baja,pero si lo obligamos a girar esta probabilidad aumenta y aumenta la cantidad de iones . Un saludo Eduardo