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NotaPublicado: Lun Ene 20, 2014 11:51 pm 
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Registrado: Mié Mar 25, 2009 7:44 pm
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Привет друг Оптон,
Не трудись переводить сообщения, которые мне высылаешь. Отец моей жены русский моя жена свободно говоритна этом языке.
Да, в о-ринге было отверстие размером волоса, и оно нарушало плотность вакуумной камеры.
Когда ты пишешь " + Para la cámara y que es conveniente poner un imán " Ты имеешь в виду магнетронный магнит? Потому что у меня есть магнетрон, хотя я его измененяю, магнит потерял силу.
Мне очень понравилось видео Бена Краснова. Когда говоришь " mal hecho entrada de alta tensión a la cámara " Это значит, что тебе не нравится видеосистема? Или ты думаешь, что мой вход высокого напряжения может быть проблемой?
Спасибо за советы!
(Ответь мне по-русски, и мне объясит моя жена :p)

Buenas,
Pues resulta que tenia un poro en una de las juntas de la camara y se me iba al traste el vacio. Ya se ha reparado y volvemos a las andadas, solo que ahora me he dado cuenta que los imanes concentricos, los de RS, pues han perdido la mayoria de su fuerza... ¿Es normal en dos o tres años que los tengo? :shock: y no los he pasado de temperatura, 60ºC a lo sumo... En fin, he pedido unos imanes nuevos y diferentes para hacerme un magnetron del como el que sale en el video que ha compartido el compañero Opton. Las fotos mañana, siempre se me olvida hacerlas... :oops:

Gracias cesar por los consejos, como siempre bien apreciados y agradecido por ellos :D
Dentro de la camara hay solo teflon, aluminio, acero, vidrio... y unas gotitas de cianocrilato para sellar los pasamuros (de cuarzo).

Como veo que los problemas se van solucionando voy a pasar del sistema chapucero de camara que gastaba hasta ahora (que si, mañana las fotos) a uno mas serio, algo como lo que sale en el video que ha compartido Opton.

Saludos

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NotaPublicado: Mar Ene 21, 2014 5:09 am 
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Registrado: Mié May 23, 2012 3:51 am
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Amalitus I
Привет приятно что ты с Русскими в родствее
по делу магниты можно намагнитить с помощью дроселя с Ш образной не замкнутой системы пропустив разряд с электролитического конденсатора на 50% больше номинала дроселя магнит должен быть в поле излучения дроселя те Ш в верху сердечника
даа ввод высокого напряжения не очень хорош и скорее всего он подтекает особенно при подаче высокого напряжения и разогрева

и вообще уважаю кто своими руками и мозгами делает
спасибо
Amalitus I
Hola bueno tenerte con matrimonios rusos
en el caso de los imanes pueden ser magnetizados utilizando acelerador en forma de W con un sistema cerrado no le falta la descarga del condensador electrolítico con 50% más de par magnético del acelerador debe estar en el campo de radiación del acelerador W aquellos en la parte superior del núcleo
Sí entrada de alta tensión no es muy buena y es probable que se escapa sobre todo cuando se aplica alta tensión y calefacción

y todos los que respetan sus propias manos y cerebros hace
¡gracias


http://www.chipmaker.ru/topic/122097/page__st__100


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NotaPublicado: Mar Ene 21, 2014 11:26 pm 
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Buenas,
La foto del equipo mini y provisional:

Imagen


Y aqui detalle del magnetron con target de cobre al minimo de potencia:

Imagen


Ese es el magnetron que ha perdido potencia. Despues de leer un poco del foro chipmaker.ru (la pagina que compartió opton), he encargado unos imanes para hacer un magnetron nuevo, no balanceado, con blindaje a tierra.

La camara final será un desecador de pyrex al reves sobre una plancha de aluminio.
Iré poniendo los progresos :)

Saludos!!

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NotaPublicado: Mar Ene 21, 2014 11:47 pm 
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Registrado: Lun Abr 04, 2011 7:35 am
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Muy bueno Amalitus !!

Paciencia… ya entraré al club del sputtering y el alto vacio....paciencia :cry:

saludos ,te felicito!

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Saludos.


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NotaPublicado: Mié Ene 22, 2014 3:20 pm 
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Amalitus I
Привет очень много лишнего если я правильно понял у тебы в низу турбомалекулярный насос тебе камеру надо прямо на него крепить если есть защитная сетка или колено прям от турбика на камеру


Amalitus I
Hola mucho más si lo he entendido bien desde el fondo Teba bomba turbomalekulyarny necesita la cámara a la derecha en él para fijar si hay una malla de protección o la rodilla recta desde el turbika cámara
Imagen


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NotaPublicado: Mié Ene 22, 2014 11:02 pm 
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Hola!!
да, есть некоторые части, которые являются предварительными, в конечной вакуумной камере насос будет непосредственно присоединен к нижней части камеры.
Конечно, вход в камеру не будет 15ммчем больше, тем сейчас, это будет наверняка вход NW40, я знаю, чем больше, тем лучше , но у меня нет больших клапанов.
Также в конце насос не будет Turbovac 50, будет Turbovac 151, потому что для 151 у меня есть контроллер и контроллер от Turbovac 50, самодельный

Como bien apunta el compañero Opton, sobran cosas. En la campana final la bomba va a ir pegada al fondo y con dos rejillas de proteccion, una la propia de la bomba y otra del tipo:

Imagen

La entrada de la camara será un conector QF40 (es el tamaño de valvula mas grande que tengo).
Ademas, la bomba final no será la turbovac 50, sino la turbovac 151, pues de esta tengo el controlador.
Y dos medidores, pirani y catodo frio.
Sigo esperando la base que usaré para el montaje final. Lo barato se hace esperar.

Saludos!

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NotaPublicado: Jue Ene 23, 2014 3:14 pm 
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Amalitus I



Привет если турбовак то и клапан не нужен сейчас есть с регулятором оборотов и торможения блок питания турбо вак . некоторые насосы могут работать и с боку камеры
а чего ты напылять на ней планируеш



Hola si turbovak entonces la válvula no se necesita ahora tiene un control de velocidad y frenado aspiradora turbo alimentación. Algunas bombas pueden operar con una cámara lateral
y lo que planea rociar sobre ella


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NotaPublicado: Jue Ene 23, 2014 11:05 pm 
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Hola,
Hoy he recibido esto:

Imagen

Y con esto:

Imagen

La idea es hacer esto:

Imagen


Lo que ahora me surgen dudas de donde colocar las tomas de vacio y pasamuros para el magnetron...

No se si asi:

Imagen
Y poner el magnetron con el metal fuente mirando hacia arriba y poner la pieza a recubrir por arriba del magnetron.

O poner la boca para alto vacio en el centro para hacer algo similar a esto:

Imagen

¿Algun consejo, recomendación o experiencia que me pueda ser de utilidad?

Мне очень жаль Оптон, сегодня мой переводчик занят :(

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NotaPublicado: Vie Ene 24, 2014 2:53 pm 
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Amalitus I

¡Hola
Yo pondría a los de abajo del magnetrón en la plataforma de metal
delante de él con un suministro de anillo de gas y el rovnomerno apertura del anillo
el material del sustrato para la deposición de la parte superior y en la parte delantera de la misma para cerrar el obturador del plasma al inicio de la suciedad-
por encima del sustrato puede poner diez para la calefacción y es deseable que el sustrato se hace girar así, respectivamente, en la parte inferior 2 pondría el plomo actual para la pulverización rezestivnogo 1 cámara de peso corporal



Привет
я бы поставил магнетрон в низу те на платформе металлической
перед ним кольцо с подводом газа и по кольцу ровномерно отверстия
сам материал подложка для напыления в верху и перед ней шторка для закрытия плазмы в начале процесса- от грязи
над подложкой можно поставит тен для нагрева и желательно чтоб подложка вращалась ну и соответственно в низу поставил бы 2 токоввода для резестивного напыления 1 масса корпус камеры


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NotaPublicado: Vie Ene 24, 2014 11:53 pm 
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Привет!
Если я хорошо понял:
Магнетрон на металлической основе (база подключена к массе), и подложки над ним. Лучше с шторкой, которая получит первое распыление (грязные и окисленные атомы), и открыть, когда атмосфера внутри камеры будет подходящей.
Кольцо вокруг магнетрона для потока аргона.
И два соединения в случае, если я хочу сделать ПВД.
Правильно?

Во всяком случае с начало я сделаю соединения для вакуума и магнетрона. Изоляция для электрических соединений будет из твердого тефлона.

Siguiendo el consejo del compañero Opton:
El magnetron abajo, enfocando hacia arriba y el sustrato arriba. Entre ellos me menciona un obturador, que no me queda muy claro como hacerlo, pero algo se me ocurrirá. Este obturador para recibir el primer sputtering hasta estabilizar la descarga.
Hacer dos pasamuros para poder hacer PVD en la misma camara.

Mañana manos a la obra.

Saludos!!

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