problemas para producir plasma con el magnetron

[Sergi]

Hola queenofmyself...

¿Como sabes que funciona la RF?... ¿comprobaste el circuito desconectado de la cámara de vacío?

En aparatos de deposición metálica es común que se acaben cortocircuitando las conexiones pasamuros con películas de metal por esputtering o vaporización. ¿Has revisado las conexiones internas de la RF?

Suerte.

[queenofmyself]

hola Sergi
nuevamente gracias por tu tiempo

si revise la radio frecuencia con el fluorecente y si esta funcionando , de echo no entiendo que paso , desde que habia quitado la placa metalica, logre hacer 5 deposiciones satisfactorias.

y de pronto volvi con la misma dificultad para hacer el plasma necesito hacer esas pruebas son parte de mi proyecto de graduacion y ya no se que mas puede estar fallando


saludos

[Sergi]

Te repito...

¿Has revisado las conexiones de la RF a la cámara de vacío? Con un tester... que no estén rotas interiormente, o presenten cortocircuito por deposición de metal en las conexiones o cualquier otro fallo...

Un fluorescente se encenderá aun con muy poca potencia de RF. Pero para generar el plasma necesitas toda la potencia.

Si tienes RF y vacío, tienes plasma. No hay más. Una de las dos cosas está fallando.

Saludos