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NotaPublicado: Vie Oct 08, 2010 10:28 am 
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Hola queenofmyself...

¿Como sabes que funciona la RF?... ¿comprobaste el circuito desconectado de la cámara de vacío?

En aparatos de deposición metálica es común que se acaben cortocircuitando las conexiones pasamuros con películas de metal por esputtering o vaporización. ¿Has revisado las conexiones internas de la RF?

Suerte.

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"La manzana no nos echó del paraiso, sólo nos dejó ciegos para verlo"
Cecil Thousan


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NotaPublicado: Vie Oct 08, 2010 7:37 pm 
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hola Sergi
nuevamente gracias por tu tiempo

si revise la radio frecuencia con el fluorecente y si esta funcionando , de echo no entiendo que paso , desde que habia quitado la placa metalica, logre hacer 5 deposiciones satisfactorias.

y de pronto volvi con la misma dificultad para hacer el plasma :( necesito hacer esas pruebas son parte de mi proyecto de graduacion :( y ya no se que mas puede estar fallando


saludos


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NotaPublicado: Vie Oct 08, 2010 10:46 pm 
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Registrado: Vie Mar 17, 2006 10:35 am
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Te repito...

¿Has revisado las conexiones de la RF a la cámara de vacío? Con un tester... que no estén rotas interiormente, o presenten cortocircuito por deposición de metal en las conexiones o cualquier otro fallo...

Un fluorescente se encenderá aun con muy poca potencia de RF. Pero para generar el plasma necesitas toda la potencia.

Si tienes RF y vacío, tienes plasma. No hay más. Una de las dos cosas está fallando.

Saludos

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Cecil Thousan


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