Cientificosaficionados.com

Los foros de los científicos aficionados de la red.
Fecha actual Sab Nov 28, 2020 12:15 pm

Todos los horarios son UTC [ DST ]




Nuevo tema Responder al tema  [ 23 mensajes ]  Ir a página Anterior  1, 2, 3  Siguiente
Autor Mensaje
NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 9:49 pm 
Desconectado

Registrado: Vie Ago 13, 2010 9:03 pm
Mensajes: 525
País: Argentina
Ciudad: Buenos Aires
Si tienes un pequeño tubo fluorescente,lo puedes poner dentro de la campana,cuidando que los contactos no toquen ni estén cerca de masas,si enciende hay rf,sino,nones :D
De que frecuencia y potencia estamos hablando?.


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 11:31 pm 
Desconectado

Registrado: Sab Sep 25, 2010 6:23 pm
Mensajes: 11
País: costarica
Ciudad: sanjose
LanicoLates no sabes lo mucho que me alegro tu idea, mañana lo primero que voy a hacer en intentar con el fluorescente a ver que sucede :D

con repecto a la rf , el manual dice que se puede llevar desde 0 a 600 watts, pero nunca hemos usado rf tan altos el maximo al que hemos llegado ( en el cual se a producido plasma ) a sido a 180 wts

Pero segun me explicaron es preferible no llegar a rf tan altas como la de 600 watts porque el target puede quebrarse.

graciassss !! :)


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Dom Sep 26, 2010 11:45 pm 
Desconectado

Registrado: Vie Ago 13, 2010 9:03 pm
Mensajes: 525
País: Argentina
Ciudad: Buenos Aires
Bueno ,pues ahora falta que digas de que frecuencia estamos hablando,me parece que debe ser 27MHZ la banda industrial,pero confirmalo con el manual o la etiqueta del generador.


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Lun Oct 04, 2010 5:17 am 
Desconectado

Registrado: Sab Sep 25, 2010 6:23 pm
Mensajes: 11
País: costarica
Ciudad: sanjose
hola LanicoLates espero que estes bien, la frecuencia es de 13.56 MHz, disculpa la por responder tan tarde pero he tenido problemas con la net

les cuento , revise la radio frecuencia, y si esta funcionando:(
asi que la posibilidad de que sea lo que ocacionaba el problema queda descartado:(
ahora, encontre en el fondo de la campana una pequena pieza de metal, no se si esto podria estar causando algun tipo de tierra, la quite, limpie el target y pude hacer plasma .
ahora no se si fue solo suerte o si realmente esa pieza metalica estaba ocacionando el problema :? , el lunes hare mas pruebas a ver si logro hacer el plasma
estoy cruzando lo dedos :).

saludos


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Mar Oct 05, 2010 11:42 am 
Desconectado
Site Admin
Avatar de Usuario

Registrado: Mié Feb 25, 2004 9:30 am
Mensajes: 3745
Ubicación: Madrid / España
En el esquema que hay en el enlace no figura ningun magnetron, al menos no veo la palabra Magnet en ningun lado. Logicamente deberia estaren el Target. Deberias decir de que material estas haciendo el sputering ya que depende mucho el material.
Una causa general cuando los magnetrones deben de funcionar es que el iman se ha sobrealentado y ha perdido el campo magnetico. Si se hace con aluminio una gruesa capa de oxido puede ser tambien un problema.

No es necesario que hagas vacios muy altos, de hecho el hacer vacios iniciales altos ex exclusivamente para aliminar trazas de nitrogeno y oxigeno. inyecta suficiente argon hasta que la presion sea del orden de 100- 20 microbares y mira si se produce ionizacion.

saludos.


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Jue Oct 07, 2010 3:39 am 
Desconectado

Registrado: Sab Sep 25, 2010 6:23 pm
Mensajes: 11
País: costarica
Ciudad: sanjose
hola pfdc
gracias por tomarte el tiempo y comentar a mi problema.
yo habia pensado que los oxidos podian ser un problema, pero en el caso de este magnetron no lo son , porque esta disenado para formar capas de oxidos. Por lo que una los oxidos en la superficie no podria estar evitando la formacion de plasma.
ahora lo que yo he notado en cada deposicion es que el target se erosiona notablemente, y pensaba que esto era lo que estaba ocacionando el problema para lograr el plasma.

puli el target para obtener una superficie fina y liza, en cada deposicion, y el plasma se hizo con gran facilidad.Pero la felicidad me duro muy poco , ahora tengo otro problema, luego de 5 deposiciones con exito, formar el plasma no es un problema, pero mantenerlo ahora es el problema ya que se me va el plasma, es algo intermitente, viene y se va, es super dificil poder mantenerlo.

No se porque ahora esta pasando esto, lo unico que se me ocurre es que el grosor del target se halla modificado un poco por las pulidas que le he realizado, y que este cambio en el grosor del target este complicando mantener el plasma :(

puede ser eso? :?


saludos


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Jue Oct 07, 2010 5:42 am 
Desconectado

Registrado: Sab Sep 25, 2010 6:23 pm
Mensajes: 11
País: costarica
Ciudad: sanjose
el target que estoy utilizando es de cobre.


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Jue Oct 07, 2010 7:12 am 
Desconectado
Avatar de Usuario

Registrado: Lun Dic 17, 2007 10:59 pm
Mensajes: 2042
Ubicación: Oviedo Asturias
Hola,

Como no tengas poca tension, o estes haciendo demasiado vacio... pues no sabria entonces que podria ser :?

_________________
Mi humilde rincon web

http://sites.google.com/site/skygaps/


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Jue Oct 07, 2010 5:38 pm 
Desconectado
Site Admin
Avatar de Usuario

Registrado: Mié Feb 25, 2004 9:30 am
Mensajes: 3745
Ubicación: Madrid / España
En el caso del cobre el oxido no debe de ser un problema, tien bajo punto de fusion y es casi conductor. No has comentado donde estan los imanes, ya que estamos hablando de magnetrones...


Arriba
 Perfil  
 
NotaPublicado: Vie Oct 08, 2010 6:00 am 
Desconectado

Registrado: Sab Sep 25, 2010 6:23 pm
Mensajes: 11
País: costarica
Ciudad: sanjose
hola
el magnetro esta en la parte de abajo, checa el link que adjunte, como puedes ver el substrato esta en la parte de arriba y el target en la partde de abajo donde tambien se encuentra el magnetro.

http://www.scielo.br/img/revistas/bjp/v ... 1fig01.gif


no se porque no puedo hacer plasma, ya he agotado todas mis posibles soluciones :?

saludos


Arriba
 Perfil  
 
Mostrar mensajes previos:  Ordenar por  
Nuevo tema Responder al tema  [ 23 mensajes ]  Ir a página Anterior  1, 2, 3  Siguiente

Todos los horarios son UTC [ DST ]


¿Quién está conectado?

Usuarios navegando por este Foro: No hay usuarios registrados visitando el Foro y 4 invitados


No puede abrir nuevos temas en este Foro
No puede responder a temas en este Foro
No puede editar sus mensajes en este Foro
No puede borrar sus mensajes en este Foro

Buscar:
Desarrollado por phpBB® Forum Software © phpBB Group
Traducción al español por Huan Manwë para phpbb-es.com