problemas para producir plasma con el magnetron

Temas generales de física. Obtención de vacío, operación, medición, materiales y accesorios. Producción y medición de radiación y partículas
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LanicoLates
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#11 Mensaje por LanicoLates »

Si tienes un pequeño tubo fluorescente,lo puedes poner dentro de la campana,cuidando que los contactos no toquen ni estén cerca de masas,si enciende hay rf,sino,nones :D
De que frecuencia y potencia estamos hablando?.

queenofmyself
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#12 Mensaje por queenofmyself »

LanicoLates no sabes lo mucho que me alegro tu idea, mañana lo primero que voy a hacer en intentar con el fluorescente a ver que sucede :D

con repecto a la rf , el manual dice que se puede llevar desde 0 a 600 watts, pero nunca hemos usado rf tan altos el maximo al que hemos llegado ( en el cual se a producido plasma ) a sido a 180 wts

Pero segun me explicaron es preferible no llegar a rf tan altas como la de 600 watts porque el target puede quebrarse.

graciassss !! :)

LanicoLates
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#13 Mensaje por LanicoLates »

Bueno ,pues ahora falta que digas de que frecuencia estamos hablando,me parece que debe ser 27MHZ la banda industrial,pero confirmalo con el manual o la etiqueta del generador.

queenofmyself
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#14 Mensaje por queenofmyself »

hola LanicoLates espero que estes bien, la frecuencia es de 13.56 MHz, disculpa la por responder tan tarde pero he tenido problemas con la net

les cuento , revise la radio frecuencia, y si esta funcionando:(
asi que la posibilidad de que sea lo que ocacionaba el problema queda descartado:(
ahora, encontre en el fondo de la campana una pequena pieza de metal, no se si esto podria estar causando algun tipo de tierra, la quite, limpie el target y pude hacer plasma .
ahora no se si fue solo suerte o si realmente esa pieza metalica estaba ocacionando el problema :? , el lunes hare mas pruebas a ver si logro hacer el plasma
estoy cruzando lo dedos :).

saludos

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pfdc
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#15 Mensaje por pfdc »

En el esquema que hay en el enlace no figura ningun magnetron, al menos no veo la palabra Magnet en ningun lado. Logicamente deberia estaren el Target. Deberias decir de que material estas haciendo el sputering ya que depende mucho el material.
Una causa general cuando los magnetrones deben de funcionar es que el iman se ha sobrealentado y ha perdido el campo magnetico. Si se hace con aluminio una gruesa capa de oxido puede ser tambien un problema.

No es necesario que hagas vacios muy altos, de hecho el hacer vacios iniciales altos ex exclusivamente para aliminar trazas de nitrogeno y oxigeno. inyecta suficiente argon hasta que la presion sea del orden de 100- 20 microbares y mira si se produce ionizacion.

saludos.

queenofmyself
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#16 Mensaje por queenofmyself »

hola pfdc
gracias por tomarte el tiempo y comentar a mi problema.
yo habia pensado que los oxidos podian ser un problema, pero en el caso de este magnetron no lo son , porque esta disenado para formar capas de oxidos. Por lo que una los oxidos en la superficie no podria estar evitando la formacion de plasma.
ahora lo que yo he notado en cada deposicion es que el target se erosiona notablemente, y pensaba que esto era lo que estaba ocacionando el problema para lograr el plasma.

puli el target para obtener una superficie fina y liza, en cada deposicion, y el plasma se hizo con gran facilidad.Pero la felicidad me duro muy poco , ahora tengo otro problema, luego de 5 deposiciones con exito, formar el plasma no es un problema, pero mantenerlo ahora es el problema ya que se me va el plasma, es algo intermitente, viene y se va, es super dificil poder mantenerlo.

No se porque ahora esta pasando esto, lo unico que se me ocurre es que el grosor del target se halla modificado un poco por las pulidas que le he realizado, y que este cambio en el grosor del target este complicando mantener el plasma :(

puede ser eso? :?


saludos

queenofmyself
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#17 Mensaje por queenofmyself »

el target que estoy utilizando es de cobre.

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Diego Gonzalez
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#18 Mensaje por Diego Gonzalez »

Hola,

Como no tengas poca tension, o estes haciendo demasiado vacio... pues no sabria entonces que podria ser :?
Mi humilde rincon web

http://sites.google.com/site/skygaps/

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pfdc
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#19 Mensaje por pfdc »

En el caso del cobre el oxido no debe de ser un problema, tien bajo punto de fusion y es casi conductor. No has comentado donde estan los imanes, ya que estamos hablando de magnetrones...

queenofmyself
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Re: problemas para producir plasma con el magnetron

#20 Mensaje por queenofmyself »

hola
el magnetro esta en la parte de abajo, checa el link que adjunte, como puedes ver el substrato esta en la parte de arriba y el target en la partde de abajo donde tambien se encuentra el magnetro.

http://www.scielo.br/img/revistas/bjp/v ... 1fig01.gif


no se porque no puedo hacer plasma, ya he agotado todas mis posibles soluciones :?

saludos

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