sputtering alto vacio

Temas generales de física. Obtención de vacío, operación, medición, materiales y accesorios. Producción y medición de radiación y partículas
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sz

sputtering alto vacio

#1 Mensaje por sz »

hola, leyendo el proyecto del profesor de sputtering me llamo la atencion esto:

"imaginemos por contra que tenemos un a fuente de titanio. Si hacemos sputering en aire a 100 micras, los átomos de titanio reaccionan con el oxigeno del aire formado su oxido y con el nitrógeno formando nitruro de titanio. Por lo tanto en vez de depositar titanio se depositara una mezcla de oxido y nitruro de este elemento. Habrá un efecto colateral. Al combinarse el titanio con el aire residual la presión de la cámara de vacío bajara por agotarse el gas hasta que el paso de corriente se corte. Claro está, salvo que por otra parte entre gas que lo restituya. Por ello cuando se quiere realizar un sputering reactivo es conveniente prever un sistema de suministro de gas a baja presión. El efecto mencionado en el caso del titanio y muchos otros metales es tremendo y se utiliza para obtener bajisimas presiones. Sublimando titanio en vacío se consiguen posiblemente los mayores vacíos alcanzados en el laboratorio. Tal es la avidez del titanio circonio y otros metales por el oxigeno y nitrógeno."

Entonces pregunto,¿ no es posible hacer una bomba de vacio por sputtering reactivo? , quizas sea mas facil que hacer una difusora, me gustaria saber cuales pueden ser los posibles problemas y que otro metal se puede usar a parte del titanio.
Saludos

Profesor Frank de Copenha

Titanio

#2 Mensaje por Profesor Frank de Copenha »

Las bombas de vacio por evaporacion de titanio se emplean muchisimo, pero cuando ya se han alcanzado vacios considerables. Uno de los grandes problemas de estas bombas es que no absorben los gases nobles, por lo tanto si en un recipiente lleno de aire sublimates todo el titanio del mundo solo conseguirias reducir a 1/ de la presion, ya que te quedaria aproximadamente el 1/100 de argon que hay en la atmosfera.

Muchos petales tienen el efecto del titanio, el bario, calcio, ... pero de todos ellos el titanio tiene el mejor conjunto de caractiristicas que lo hacen mas adecuado para ello. por otra parte el titanio aunque caro no lo es excesibvamente ( 60 euros /kg)

PFDC

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